مقياس التدفق الكتلي المنخفض التدفق/جهاز التحكم في التدفق
ما هو مقياس التدفق الكتلي المنخفض التدفق؟
A مقياس التدفق الكتلي المنخفض التدفق (MFM) يقيس معدل التدفق الكتلي لسائل (غاز أو سائل) يمر عبر نظام ما، وعادةً ما يتراوح بين ملليلتر في الدقيقة (مل/دقيقة) إلى بضعة لترات في الدقيقة (لتر/دقيقة). على عكس مقاييس التدفق الحجمي، تأخذ مقاييس التدفق الكتلي في الحسبان كثافة السوائل، مما يوفر قراءات تدفق الكتلة المباشرة الضرورية للعمليات التي تتطلب قياس تكافؤ دقيق أو الامتثال للوائح البيئية.
ما هو جهاز التحكم في التدفق الكتلي المنخفض التدفق؟
A وحدة التحكم في التدفق الكتلي المنخفض التدفق (MFC) يجمع بين مقياس التدفق الكتلي مع صمام تحكم ونظام تغذية مرتدة لتنظيم معدلات التدفق في الوقت الحقيقي. يقوم بضبط موضع الصمام للحفاظ على نقطة ضبط يحددها المستخدم، مما يضمن ثبات التسليم حتى في ظل الضغوط أو درجات الحرارة المتقلبة.
مقياس التدفق الكتلي كوريوليس/جهاز التحكم في التدفق الكتلي MTL20FE
- نوع السوائل: غاز، سوائل، سوائل
- نسبة الخفض: 50:1 لوحدة التحكم في التدفق الكتلي؛ 100:1 لمقياس التدفق الكتلي.
- يمكنه قياس السوائل عالية اللزوجة والغازات عالية الكثافة.
الدقة
الغاز: ± 0.5% F.S؛ السائل: ± 0.25% F.S
نطاق القياس
0 ~ (40 جم/ساعة ~ 1000 كجم/ساعة)
نطاق درجة حرارة العمل
0～70℃
الحد الأقصى. ضغط العملية
100 بار
مقياس التدفق التفاضلي للضغط التفاضلي / وحدة التحكم في التدفق الكتلي MTL20FC
- نوع المائع: غاز، سائل، بخار، سائل، بخار
- عرض معدل التدفق اللحظي والتراكمي والضغط ودرجة الحرارة في نفس الوقت
الدقة
± 0.51 تيرابايت 3 تيرابايت 3 تيرابايت 3 تيرابايت 3 تيرابايت 3 تيرابايت
نطاق القياس
2SCCM ～ 3000SLM
نطاق درجة حرارة العمل
10～50℃
الحد الأقصى. ضغط العملية
30 بار
مقياس التدفق الكتلي الحراري للغاز/جهاز التحكم في التدفق الحراري للغاز (MTL20FD)
- نوع السوائل: غاز
- المبدأ الحراري، دقة القياس على مستوى المختبر.
- تحويلة أنبوبية عالية الثبات لتجنب الانسداد.
الدقة
± 0.51 تيرابايت 3 تيرابايت 3 تيرابايت 3 تيرابايت 3 تيرابايت 3 تيرابايت
نطاق القياس
02SCCM～6000SLM
نطاق درجة حرارة العمل
0～50℃
الحد الأقصى. ضغط العملية
100 بار
مقارنة بين أجهزة قياس/وحدات التحكم في التدفق الكتلي الثلاثة المذكورة أعلاه
| الأنواع | كوريوليس MFM / MFC | حراري MFM / MFC الحراري | غاز DP غاز MFM / MFC |
|---|---|---|---|
| مبادئ العمل | يستخدم أنابيب اهتزازية لقياس التدفق الكتلي عبر تأثير كوريوليس. | يقيس تبديد الحرارة من عنصر ساخن. | يعتمد مبدأ قياس كتلة الضغط التفاضلي. |
| قياس المتوسط | الغازات/السوائل | الغازات | الغازات/السوائل/البخار |
| نطاق القياس | 0 ~ (40 جم/ساعة ~ 1000 كجم/ساعة) | 2SCCM～6000SLM | 2SCCM ～ 3000SLM |
| الدقة | الغاز: ± 0.5% F.S؛ السائل: ± 0.25% F.S | ± 0.51 تيرابايت 3 تيرابايت 3 تيرابايت 3 تيرابايت 3 تيرابايت 3 تيرابايت | ± 0.51 تيرابايت 3 تيرابايت 3 تيرابايت 3 تيرابايت 3 تيرابايت 3 تيرابايت |
| الحد الأقصى. ضغط العملية | 100 بار | 100 بار | 30 بار |
| نطاق درجة حرارة العمل | 0～70℃ | 0～50℃ | 10～50℃ |
| المخرجات | 0 ～ 5 فولت، 4-20 مللي أمبير، 1 ～ 5 فولت | 0 ～ 5 فولت، 4-20 مللي أمبير، 1 ～ 5 فولت | 0 ～ 5 فولت، 4-20 مللي أمبير، 1 ～ 5 فولت |
| الاتصالات الرقمية | RS232/485 ， بروتوكول RS232/485 ， بروتوكول مودبوس | RS232/485 ， بروتوكول RS232/485 ， بروتوكول مودبوس ， بروتوكول بروفيبوس | RS232/485 ， بروتوكول RS232/485 ， بروتوكول مودبوس |
| اتصالات العملية | φ6 ， 6 ， 8 ， 8 ， 10 ， 12 ， كمّ، ذو حواف، إلخ | φ8، φ10، φ12، ذو حواف | φ8، φ10، φ12، ذو حواف |