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Mass Flow Meter / Controller
What is a mass flow meter?
A Massendurchflussmesser mit geringem Durchfluss (MFM) misst den Massendurchfluss eines Fluids (Gas oder Flüssigkeit), das durch ein System fließt, normalerweise in Bereichen von Millilitern pro Minute (mL/min) bis zu einigen Litern pro Minute (L/min). Im Gegensatz zu volumetrischen Durchflussmessern berücksichtigen Massendurchflussmesser die Flüssigkeitsdichte und liefern direkte Massendurchflussmessungen, die für Prozesse, die eine präzise Stöchiometrie oder die Einhaltung von Umweltvorschriften erfordern, unerlässlich sind.
What is a mass flow controller?
A Massendurchflussregler mit niedrigem Durchfluss (MFC) kombiniert einen Massendurchflussmesser mit einem Regelventil und einem Rückmeldesystem, um die Durchflussmengen in Echtzeit zu regeln. Es passt die Ventilstellung an, um einen benutzerdefinierten Sollwert aufrechtzuerhalten, und sorgt so für eine gleichbleibende Förderung auch bei schwankenden Drücken oder Temperaturen.
- Ultra-Low-Flow-Detektion mit hoher Genauigkeit: Unsere Massedurchflussmesser und -regler sind für die präzise Steuerung von kleinsten bis geringen Durchflussmengen konzipiert und liefern genaue Messungen ab 0,1 sccm.
- Multi-Fluid, Multi-Range und Multi-Prinzip-Flexibilität: Wir bieten verschiedene Sensorprinzipien an, darunter Coriolis, thermische Masse und Differenzdruck, um unterschiedliche Anforderungen an Präzision, Durchflussmenge und Anwendung zu erfüllen.
- Schnelle Reaktion und stabile Steuerung: Mit einer Regelungsreaktionszeit von unter 1 Sekunde gewährleisten unsere Regler eine Durchflussregelung in Echtzeit.
- Kompaktes Design für einfache Integration: Unsere Massendurchflussmesser/-regler für niedrige Durchflussmengen haben einen kompakten, modularen Formfaktor, wodurch sie leicht in Analyseinstrumente, automatisierte Systeme und kompakte Gaspanels integriert werden können.


Coriolis-Massedurchflussmesser/-regler MTL20FE
- Flüssigkeitstyp: Gas, Flüssigstoffe
- Turn Down Ratio: 50:1 für Massendurchflussregler; 100:1 für Massendurchflussmesser.
- Es kann Flüssigkeiten mit hoher Viskosität und Gase mit hoher Dichte messen.
Genauigkeit
Gas: ±0,5% F.S.; Flüssigkeit: ±0,25% F.S.
Messbereich
0 ~ (40g/h~1000kg/h)
Arbeitstemperaturbereich
0~70℃
Max. Prozessdruck
100 bar

Differenzdruck-Massedurchflussmesser/-regler MTL20FC
- Flüssigkeitstyp: Gas, Flüssigkeit, Dampf
- Gleichzeitige Anzeige von momentaner und kumulativer Durchflussmenge, Druck und Temperatur
Genauigkeit
± 0,5% F.S; ± 1% F.S
Messbereich
2SCCM~3000SLM
Arbeitstemperaturbereich
10~50℃
Max. Prozessdruck
30 bar

Thermischer Gasmassendurchflussmesser / -regler (MTL20FD)
- Flüssigkeitstyp: Gas
- Thermisches Prinzip, Messgenauigkeit auf Laborniveau.
- Hohe Stabilität, röhrenförmiger Nebenschluss zur Vermeidung von Verstopfungen.
Genauigkeit
± 0,5% F.S; ± 1% F.S
Messbereich
02SCCM~6000SLM
Arbeitstemperaturbereich
0~50℃
Max. Prozessdruck
100 bar
Comparison of the Mass Flow Meters / Controllers above
Typen | Coriolis MFM / MFC | Thermische MFM / MFC | DP Gas MFM / MFC |
---|---|---|---|
Arbeitsprinzipien | Verwendet vibrierende Rohre zur Messung des Massendurchflusses über den Coriolis-Effekt. | Misst die Wärmeabgabe eines beheizten Elements. | Verwendet das Prinzip der Differenzdruck-Massenmessung. |
Messmedium | Gase/Flüssigkeiten | Gase | Gase/Flüssigkeiten/Dampf |
Messbereich | 0 ~ (40g/h~1000kg/h) | 2SCCM~6000SLM | 2SCCM~3000SLM |
Genauigkeit | Gas: ±0,5% F.S.; Flüssigkeit: ±0,25% F.S. | ± 0,5% F.S; ± 1% F.S | ± 0,5% F.S; ± 1% F.S |
Max. Prozessdruck | 100 bar | 100 bar | 30 bar |
Arbeitstemperaturbereich | 0~70℃ | 0~50℃ | 10~50℃ |
Ausgänge | 0~5V, 4-20mA, 1~5V | 0~5V, 4-20mA, 1~5V | 0~5V, 4-20mA, 1~5V |
Digitale Kommunikation | RS232/485,MODBUS-Protokoll | RS232/485,MODBUS-Protokoll,PROFIBUS-Protokoll | RS232/485,MODBUS-Protokoll |
Prozess-Verbindungen | φ6,φ8,φ10,φ12, Hülse, Flansch, etc. | φ8, φ10, φ12, geflanscht | φ8, φ10, φ12, geflanscht |
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